温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属溶胶凝胶光诱导折射率变化法制作掺锡ＳｉＯ↓［２］／Ｓｉ基列阵波导光栅的方法。以单晶硅为衬底，在其上顺次生长下包层、波导芯层、上包层；在波导芯层，经调制溶胶－旋涂－烧结－掩膜－光诱导过程制作ＡＷＧ图形。调制溶胶是将正硅酸乙酯、乙醇、盐...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。