下载一种VAD烧结炉芯管的气封装置的技术资料

文档序号:26800798

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本发明创造提供了一种VAD烧结炉芯管的气封装置,包括炉芯管顶部的气封端盖;炉芯管上部还设有气封腔室,该气封腔室外侧设有进气口,炉芯管上对应气封腔室内腔的位置设有吹气口。本发明创造利用持续通入气封端盖和气封腔体中心部位的氮气,阻绝空气中的杂质...
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