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本发明涉及一种高沉积速率ＰＣＶＤ工艺制作芯棒的方法，采用等离子体化学气相沉积，在圆管形的石英衬管内壁上沉积纯硅或掺杂的氧化硅层，包括流经石英衬管的原料气体（或蒸气），石英衬管穿过筒形的谐振腔且周期转动，同时谐振腔沿石英衬管轴向往复移动，其特...
该专利属于长飞光纤光缆有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长飞光纤光缆有限公司授权不得商用。

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