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喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜扫描装置制造方法及图纸
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文档序号:2679426
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喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜扫描装置属于太阳能应用领域。完成加热过程和喷涂过程的主单元、完成退火功能的辅助单元、具有预加热功能的辅助单元依次并列或L形排列,具有预加热功能的辅助单元位于完成加热过程和喷涂过程的主单元一侧,完成退火功能的辅助...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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