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用于感测偏转表面的运动的设备制造技术
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下载用于感测偏转表面的运动的设备的技术资料
文档序号:26787672
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本公开的实施例总体上涉及用于感测偏转表面的运动的设备。一种用于感测可偏转表面的运动的设备,该设备包括可偏转元件,该可偏转元件具有可偏转的第一侧梁,并且包括在该可偏转元件的第二侧处的反射表面,该反射表面与第一侧相对。该设备包括光发射器以及光接...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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