下载衍射光的二元光栅结构的技术资料

文档序号:2678059

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一种衍射光的二元光栅结构具有一微观的台型结构(2),其高台(5)被基本上为矩形横截面的凹谷(4)所隔开,其中所述凹谷(4)的结构周期性地重复。在台型结构(2)的一个周期(T)内至少N个凹谷(4)隔开高台(5),其中N为整数并大于2。所述台型...
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