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衍射光的二元光栅结构制造技术
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下载衍射光的二元光栅结构的技术资料
文档序号:2678059
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一种衍射光的二元光栅结构具有一微观的台型结构(2),其高台(5)被基本上为矩形横截面的凹谷(4)所隔开,其中所述凹谷(4)的结构周期性地重复。在台型结构(2)的一个周期(T)内至少N个凹谷(4)隔开高台(5),其中N为整数并大于2。所述台型...
该专利属于OVD基尼格拉姆股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过OVD基尼格拉姆股份公司授权不得商用。
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