下载光学位置检测装置的技术资料

文档序号:2677995

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用于确定两个物体相对位置的光学位置检测装置,该装置由一个刻度尺和一个相对于刻度尺移动的扫描单元所组成,其中所述扫描单元包括用于产生与位置有关的扫描信号的信号发生机构,在其下面存在至少一个用于对光束的传播方向施加确定影响的偏转元件,其中在扫描...
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