下载具有楔形棱镜的投影光学系统的技术资料

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一种具有楔形棱镜的投影光学系统,包括提供光束的光源、位于光源前且包括一表面的光阀及设于光束由光源至光阀光路径上的楔形棱镜;利用楔形棱镜截面厚度不同以修正光束的光程及聚焦位置,以改善由于照明系统以不等长光程照射在光阀上所产生的问题,使光束聚焦...
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