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本发明公开了一种半导体制程废气的燃烧处理设备，其结构包括有风机、进气管、喷淋除尘装置、一号输气管、酸碱中和装置、二号输气管、干燥装置、燃烧装置，所述喷淋除尘装置的顶部安装有风机，所述喷淋除尘装置的一侧设有底部进气管，与现有技术相比，本发明的...
该专利属于郭志锋所有，仅供学习研究参考，未经过郭志锋授权不得商用。

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