下载侧紧固装置的技术资料

文档序号:26772707

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通过适当的紧固力保持基板的侧紧固装置具有:一对紧固部件,使上述一对紧固部件中的至少一个紧固部件可动而对基板沿着宽度方向进行保持;可动侧支撑部件,对上述一对紧固部件中的可动的可动侧紧固部件以能够沿着移动方向滑动的方式进行支撑;驱动机构,通过驱...
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