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公开对象物的表面测定装置。对象物的表面测定装置包括：支撑部，用于放置测定对象物；至少3个探针，用于测定上述测定对象物的表面；以及驱动部，使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对驱动。...
该专利属于汉阳大学校ERICA产学协力团所有，仅供学习研究参考，未经过汉阳大学校ERICA产学协力团授权不得商用。

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