下载舱门气压调整装置的技术资料

文档序号:26768487

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本发明公开了一种舱门气压调整装置,包括质谱仪本体、靶板、升降机构、可开合的舱门、导气组件和抽真空组件,其中,质谱仪本体内部设置有相互连通的真空腔体和过渡腔体,靶板和升降机构设于真空腔体的内部,升降机构用于驱动靶板上升或下降,当升降机构将靶板...
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