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舱门气压调整装置制造方法及图纸
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下载舱门气压调整装置的技术资料
文档序号:26768487
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本发明公开了一种舱门气压调整装置,包括质谱仪本体、靶板、升降机构、可开合的舱门、导气组件和抽真空组件,其中,质谱仪本体内部设置有相互连通的真空腔体和过渡腔体,靶板和升降机构设于真空腔体的内部,升降机构用于驱动靶板上升或下降,当升降机构将靶板...
该专利属于珠海美华医疗科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海美华医疗科技有限公司授权不得商用。
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