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本发明公开了一种用于微移液管微纳制造检测的湿度控制系统，采用缓冲室和工作室的双结构设计，利用缓冲室进行干湿气体的预混合，在工作室内中间固定有用于沉积的金属板，采用隔板将工作室内分为工作盒上气室和工作盒下气室，确保工作上室湿度的均匀性，减小气...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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