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本发明公开了一种高分辨大扫描场系统的二阶像差补偿方法，针对有偏转系统的存在时，此时沿着光轴附近将场函数做级数展开分析系统电子光学特性，能够分析因偏转带来的二阶像差。利用静电八极偏转器，通过给圆弧电极施加电压信号激励，让偏转器产生所需的四极场...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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