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基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置制造方法及图纸
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下载基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置的技术资料
文档序号:26759226
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本发明公开了一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置,该角度补正机构包括吸盘吸附模组能够将气浮条件下玻璃基板吸附在吸盘上;摆臂旋转模组一端与所述丝杆滑轨模组的运动端连接,另一端与吸盘吸附模组底部固定连接;丝杆滑轨模组能够驱动...
该专利属于安徽皓视光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽皓视光电科技有限公司授权不得商用。
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