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具有可动光传输微结构的光开关元件制造技术
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下载具有可动光传输微结构的光开关元件的技术资料
文档序号:2675922
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一种光开关元件,其具有可动的光传输微结构以改变光信号的光路。这种可动微结构是“可传输光的”,因为其包括可传输光信号的结构如波导或波导网络。这种装置使用MEMS和微切削加工技术来构建具有光传输微结构的光开关,微结构可沿某方向(如横向、垂直或旋...
该专利属于新讯科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过新讯科技公司授权不得商用。
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