温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于图模型的MOCVD腔体稳定性检测方法及系统，该方法包括：根据MOCVD腔体内部的传感器得到MOCVD反应腔的参数；将MOCVD反应腔的参数输入预设的图模型，并基于判决条件得到稳定性状态、速度流线分布图和温度云图；将稳定性...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。