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一种铌酸锂和SU-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺制造技术
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下载一种铌酸锂和SU-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺的技术资料
文档序号:26758053
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本发明公开了一种铌酸锂和SU‑8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺。本发明包括第一芯片和第二芯片,第一芯片的一侧和第二芯片一侧拼接形成光纤陀螺;第一芯片包括从下到上依次层叠布置的硅衬底、二氧化硅缓冲层和铌酸锂单晶薄膜,所述铌酸锂单晶薄膜上集成布置...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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