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一种光致变形液晶弹性体驱动的微型泵装置制造方法及图纸
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下载一种光致变形液晶弹性体驱动的微型泵装置的技术资料
文档序号:26756423
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本实用新型公开了一种光致变形液晶弹性体驱动的微型泵装置,该泵的主体结构包括液晶弹性体梁,泵膜盖板、泵膜、紫外线光源、可见光光源,液晶弹性体梁上方微型泵盖板固定,下方与泵膜盖板固定,通过对液晶弹性体照射周期性的紫外线与可见光,使其发生周期性的...
该专利属于郑州大学所有,仅供学习研究参考,未经过郑州大学授权不得商用。
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