温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种半导体晶体生长装置。包括:炉体;坩埚,所述坩埚设置在所述炉体内部,用以容纳硅熔体;提拉装置,所述提拉装置设置在所述炉体顶部,用以从所述硅熔体内提拉出硅晶棒;导流筒,所述导流筒呈桶状并沿竖直方向设置在所述炉体内的所述硅熔体的上方...该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种半导体晶体生长装置。包括:炉体;坩埚,所述坩埚设置在所述炉体内部,用以容纳硅熔体;提拉装置,所述提拉装置设置在所述炉体顶部,用以从所述硅熔体内提拉出硅晶棒;导流筒,所述导流筒呈桶状并沿竖直方向设置在所述炉体内的所述硅熔体的上方...