下载镀膜设备的技术资料

文档序号:26753373

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一种镀膜设备包括加工腔室、旋转装置以及旋转承载座。旋转装置设置于前述加工腔室中。旋转承载座连接至前述旋转装置。旋转承载座包括两个延伸元件、两个容纳元件以及两个销。前述延伸元件围绕中心轴设置且相互分离,其中前述延伸元件的每一个具有一侧面。前述...
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