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本发明涉及切削刀具以及薄膜材料制备领域,具体而言,涉及一种阴极磁场调制的硬质涂层刀具及其制备方法和应用。该刀具包括刀具基体以及沉积在基体上的具有多层结构的氮化物涂层,氮化物涂层由多个交替单元组成,交替单元中包括一个应力为‑2GPa~‑5GP...该专利属于东莞市华升真空镀膜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市华升真空镀膜科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及切削刀具以及薄膜材料制备领域,具体而言,涉及一种阴极磁场调制的硬质涂层刀具及其制备方法和应用。该刀具包括刀具基体以及沉积在基体上的具有多层结构的氮化物涂层,氮化物涂层由多个交替单元组成,交替单元中包括一个应力为‑2GPa~‑5GP...