下载阴极磁场调制的硬质涂层刀具及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:26753364

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本发明涉及切削刀具以及薄膜材料制备领域,具体而言,涉及一种阴极磁场调制的硬质涂层刀具及其制备方法和应用。该刀具包括刀具基体以及沉积在基体上的具有多层结构的氮化物涂层,氮化物涂层由多个交替单元组成,交替单元中包括一个应力为‑2GPa~‑5GP...
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