下载一种吸收环境中太赫兹波的材料的制备方法的技术资料

文档序号:26753356

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种吸收环境中太赫兹波的材料的制备方法,主要先制备高纯六方氮化硼粉料,再热压合成六方氮化硼靶材,采用射频磁控溅射法沉积表面平整度高、结晶性良好、以层状模式生长的连续大面积的高纯六方氮化硼薄膜,然后再采用微波等离子增强化学气相沉积系...
该专利属于天元军融(辽宁)化工研究所新材料孵化器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天元军融(辽宁)化工研究所新材料孵化器股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。