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一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控系统，特征在于其结构包括光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分：所述的光源发射系统由带光电池的光源和沿该光源发出的光束的前进方向依次设置的聚光镜、光阑、单排孔调制盘和准直镜组成，所述...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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