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本发明实施例提供一种温度控制装置、集成电路制造设备及方法，涉及温控设备领域，温度控制方法包括以下步骤：采集被检测设备的当前温度值PV；将所述当前温度值PV与预设温度值SP进行比较，得到温差值；对所述温差值分别进行制冷PID计算和加热PID计...
该专利属于北京京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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