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光学子组件结构制造技术
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文档序号:26729682
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一种用于通过光纤与半导体光学波导的主动对准进行模转换的光学子组件结构,包括:用于保持光学子组件结构的子基座;安装在所述子基座上的半导体芯片;生长在所述半导体芯片上的半导体光学波导;以及相对于所述半导体光学波导主动对准的玻璃毛细管子组件。...
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