温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种聚合物上硅光波导，它依次包括上限制层、硅芯层、聚合物下限制层和衬底。硅芯层形状为平板、脊型、倒脊型、上下脊型或者条型。本发明提出在聚合物材料上实现硅波导，具有集成光子器件设计自由度大的优点，可以同时利用硅材料和聚合物材料的特...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。