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本发明公开了一种基于激光等离子体成像的低气压测量方法及装置，方法中，待测真空腔内设置靶材，脉冲激光透过待测真空腔的窗口烧蚀靶材产生等离子体，在垂直于脉冲激光入射方向上，于脉冲激光发射后的预定时刻后拍摄等离子体图像，基于等离子体图像强度积分生...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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