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本发明涉及控制阀技术领域,尤其是一种压电式气体流量控制阀,压电片配置于阀腔内,阀腔内固定有和压电片下表面接触的刚性轴及抵在压电片上表面的柔性轴,本发明利用调节杆和压紧弹性元件的配合将压电片的固定端固定在阀腔内,实现调节杆在轴向位移时能够调节...该专利属于费尔顿技术(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过费尔顿技术(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及控制阀技术领域,尤其是一种压电式气体流量控制阀,压电片配置于阀腔内,阀腔内固定有和压电片下表面接触的刚性轴及抵在压电片上表面的柔性轴,本发明利用调节杆和压紧弹性元件的配合将压电片的固定端固定在阀腔内,实现调节杆在轴向位移时能够调节...