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本发明公开了一种半导体设备的真空密封门装置，包括真空腔体、真空门和升降压紧机构，升降压紧机构包括升降驱动、导向架和两个升降滑轨，两个升降滑轨分别固定在真空腔体的门口两侧的侧壁上，导向架包括两个导向板和连接座，两个导向板对称固定在连接座的两端...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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