下载一种单晶硅棒切割自动调整工艺参数的方法的技术资料

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本发明公开了一种单晶硅棒切割自动调整工艺参数的方法,属于晶硅切割技术领域,包括以下步骤:线弓检测,实时监控每个周期、位置的实时数据,根据检测数据计算出实时线弓的深度;建模;根据模型调整台速,能够有效提高晶硅的良率,减少人工干预,提高晶硅的切...
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