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本发明涉及超声检测技术领域，具体为一种约束释放型差分式压电超声换能器芯片及其工作方法，该超声换能器芯片由下至上依次包括支撑层、底电极、压电层和顶电极，所述压电层对应顶电极外边缘外部的位置处向下设有环形隔离槽。所述环形隔离槽深度小于等于压电层...
该专利属于重庆大学所有，仅供学习研究参考，未经过重庆大学授权不得商用。

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