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一种用于常用波段1.55微米光纤通信的石英透射偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期为866-912纳米、刻蚀深度1.91-2.05微米,光栅的占空比为1/2。本发明光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成,可以低成...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种用于常用波段1.55微米光纤通信的石英透射偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期为866-912纳米、刻蚀深度1.91-2.05微米,光栅的占空比为1/2。本发明光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成,可以低成...