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一种６３２．８纳米波段的背入射式石英反射偏振分束光栅，该光栅的周期为２８１～２８６纳米、刻蚀深度为０．８００～０．８１０微米、光栅的占空比为１／２时，偏振分束光栅的消光比大于１００，ＴＥ偏振光的０级反射衍射效率和ＴＭ偏振光的１级反射衍射效率...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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