温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种形成包括核心区域（１２）、包层区域（１４）、和位于其间的指数对比区域（１６）的波导管的方法，该方法包括在基底（１８）上沉积可聚合复合物以形成层（２２），对该层进行图样化以限定该层的曝光区（２６）和未曝光区（２８），照射该层的曝光区，并挥...
该专利属于通用电气公司所有，仅供学习研究参考，未经过通用电气公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。