下载与外部光场有低耦合损耗的集成光波导结构的技术资料

文档序号:2670940

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一种集成光波导结构,包括:用于引导光场并形成在下包层(111)上的波导芯(113)。波导芯包括:与下包层基本共同延伸并有基本均匀厚度(t)的波导芯层(113a),和有基本均匀高度(h-t)的波导芯肋(113b),波导芯肋从波导芯层表面突出,...
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