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本发明公开了一种离子掩膜制作玻璃光波导的方法。首先通过Ｋ↑［＋］离子交换工艺在玻璃基片上制作Ｋ↑［＋］扩散区，作为后续离子交换的掩膜；而后采用掩膜反型技术制作一层Ｋ↑［＋］离子扩散区上的薄膜，用于阻止在后续离子交换过程中高折射率离子透过Ｋ↑...
该专利属于浙江南方通信集团股份有限公司;浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江南方通信集团股份有限公司;浙江大学授权不得商用。

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