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微移动元件及光开关器件制造技术
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下载微移动元件及光开关器件的技术资料
文档序号:2670779
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本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元,该微移动单元包括:框架;可移动部件,其能够转动;扭转连接部件,连接该框架与该可移动部件;以及致动器,用于产生使该可移动...
该专利属于富士通株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士通株式会社授权不得商用。
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