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本发明提供了一种扫描探针显微镜、使用其的试样观察方法及装置制造方法，可以高的总处理能力不破坏试样地测量试样的正确的立体形状信息，并且可测量包含垂直侧壁或悬垂的试样的正确的立体形状信息。在仅在测定点使探针接触，在朝向下一测定点时，一旦提升探针...
该专利属于株式会社日立制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立制作所授权不得商用。

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