下载充液设备及其制造方法以及光学扫描设备及其制造方法的技术资料

文档序号:2670380

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描述了一种设备(100;200;300;400),所述设备包括密封谐振腔(210),所述密封谐振腔包含n个容量的流体(80,230;200,230;320,330,332;420,422,430,432),其中n是整数并且n≥2。每一容量的...
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