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本实用新型提供一种多晶硅筛料装置,包括顶部盛料装置、内部过滤装置、碎料收集装置以及底部支撑装置,盛料装置包括筛料箱、密封盖及所述筛料箱底部的筛料漏斗;过滤装置包括滤网及吸尘口,所述筛料箱通过所述吸尘口外接一集中抽空装置,实现筛料过程中的粉尘...该专利属于内蒙古中环领先半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。
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