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硅熔液的对流模式推测方法、单晶硅的氧浓度推测方法、单晶硅的制造方法及单晶硅的提拉装置制造方法及图纸
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下载硅熔液的对流模式推测方法、单晶硅的氧浓度推测方法、单晶硅的制造方法及单晶硅的提拉装置的技术资料
文档序号:26695114
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一种硅熔液的对流模式推测方法,其具备:对旋转中的石英坩埚内的硅熔液,使用夹住石英坩埚配置的一对磁性体,施加强度0.2T以上的水平磁场的工序;在籽晶接触施加水平磁场的硅熔液前,测量硅熔液的表面中的在从铅垂上方观察时位于通过表面中心且与水平磁场...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。
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