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本发明提供了一种三维集成系统及制备方法，所述集成系统包括纳米发电机、纳米电容结构、第一硅通孔结构和第二硅通孔结构；所述方法包括如下步骤：选择刻蚀衬底并在所述刻蚀衬底表面刻蚀出多个硅纳米孔并制备获得纳米电容结构；在所述纳米电容结构表面制备出共...该专利属于复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司授权不得商用。