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本发明涉及太阳能电池生产领域。一种新型P型晶硅电池背接触钝化制备工艺,背面激光开槽后,采用热扩散方式,在背极制备硼重掺层,背极制备硼重掺层制备过程中,首先以10slm的流量通N2,升温至900℃,并等待5min;然后在保持氮气流量不变到的情...该专利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西潞安太阳能科技有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及太阳能电池生产领域。一种新型P型晶硅电池背接触钝化制备工艺,背面激光开槽后,采用热扩散方式,在背极制备硼重掺层,背极制备硼重掺层制备过程中,首先以10slm的流量通N2,升温至900℃,并等待5min;然后在保持氮气流量不变到的情...