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本发明提供的一种板式设备制备钝化接触结构太阳能电池的方法，包括如下步骤：S1.选取晶体硅基体；S2.在板式一体式连续镀膜设备中，晶体硅基体首先进入ALD工艺腔沉积隧穿氧化层，之后进入PECVD工艺腔连续沉积掺杂非晶硅层；S3.将晶体硅基体退...
该专利属于江苏杰太光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏杰太光电技术有限公司授权不得商用。

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