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一种基于铁电半导体和薄层二维材料的光电探测器制造技术
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下载一种基于铁电半导体和薄层二维材料的光电探测器的技术资料
文档序号:26692426
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本发明公开了一种基于铁电半导体和薄层二维材料的光电探测器,包括掺杂硅衬底、电介质层、二维材料薄膜层、α‑硒化铟二维铁电半导体层及两个金属电极,其中,掺杂硅衬底、电介质层、二维材料薄膜层及α‑硒化铟二维铁电半导体层自下到上依次分布,一个金属电...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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