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本发明公开了一种具有中红外宽带光吸收特性的超导纳米线单光子探测器，其结构包括上半腔，纳米线层和下半腔共三个部分。上半腔为两层介质结构，分别为厚度为542nm硅层和厚度为624nm二氧化硅层。纳米线层为厚度为4nm、纳米线宽度为30nm的，材...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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