下载一种自旋极化耦合的GaN MOSFET及其制备方法的技术资料

文档序号:26692390

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本发明公开了一种自旋极化耦合的GaN MOSFET及制备方法,属于铁磁材料领域及三代半导体微波毫米波器件领域。该结构包括GaN MOSFET完整外延结构以及在GaN MOSFET完整外延结构上制备的源漏金属、源漏保护SiN介质、一次栅金属磁...
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