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提供了一种用于电感耦合等离子体处理装置的绝缘材料窗部件，包括：绝缘材料窗、电感耦合线圈和加热器层，所述电感耦合线圈的底面贴合在所述绝缘材料窗的上表面，所述加热器层设置在所述电感耦合线圈上方，其中，所述电感耦合线圈与所述加热器层之间包括一绝缘...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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