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一种实现多功能复合透明导电薄膜的方法及应用技术
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文档序号:26691990
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一种实现多功能复合透明导电薄膜的方法及应用,属于光电子器件领域。利用真空镀膜技术生长氧化物薄膜,而磁控溅射技术生长超薄金属薄膜,并通过PS微球模板或光刻模板技术辅助构建金属网格结构,从而实现多功能复合薄膜Glass/Oxide‑B/Meta...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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